传统的电机控制系统是采用模拟元件控制的,虽...
结合实际生产中的科研课题,开展理论研究,设...
对传统的 MEMS 陀螺仪操作模式,为实现驱动模态...
为了得到更精确的输出角速度,驱动模态的信号...
图2.2所示为MEMS电容式传感器测量原理示意图。...