摘要：自发现激光回馈现象以来，相关研究内容和成果得到极大的丰富。在此基础之上，激光回馈被应用于形貌、速度和位移等方面的测量。和传统的基于电学、光学原理的位移测量仪器相比，激光回馈系统具有结构紧凑、自准直和灵敏度高的特点。因此，人们为将回馈现象应用于位移测量领域而开展了很多工作。开展了双折射外腔/ 偏振外腔回馈位移测量仪的仪器化工作。提出了功率极值稳定度评价方法，用于评价激光器的功率稳定度，并挑选性能优良的激光器用于进行稳频。同时，将稳 频技术和回馈外腔扫描技术相结合，进一步提高了仪器的频率稳定度（优于 10-7） 和抗干扰性能。研制的 15.82nm 分辨率回馈位移测量仪分辨率 15.82nm，量程大于 200mm，线性度优于 2.3×10-6，工作距离超过 600mm。研制的折叠腔回馈位移测 量仪分辨率 7.91nm，量程大于 200mm，线性度优于 3.07×10-6，工作距离超过 400mm。15.82nm 分辨率回馈位移测量仪和折叠腔回馈位移测量仪具有结构简单、 成本低、分辨率高、线性度好以及测量范围大的优点，应用前景广阔。 

关键词：双折射外腔回馈；偏振外腔回馈；位移测量；HeNe 激光器；

目录

摘要

ABSTRACT

第一章 电路系统设计概述-1

第二章 稳频电路设计-2

2.1常用稳频方案及其特性-2

2.2稳频方案的设计-2

2.3功率稳定性的评价和激光器的选择-3

第三章 转换及放大模块-7

3.1转换及放大模块概述-7

3.2转换及放大电路设计-7

第四章 五细分模块-8

第五章 数字电路及显示模块-11

参考文献-12

致  谢-13