摘要：随着当代科学技术的发展，微位移技术已然在高科技各个产业中占据了非常重要的地位。作为微位移领域十分重要的一部分，微位移工作台已经逐渐成为微位移技术的一个核心研究方向，许多研究者对微位移工作台进行了深入的研究。设计了一台以压电陶瓷驱动、采用空间柔性铰链杆和平面柔性铰链杆，形成双层铰链杆对称一体化结构的三维无耦合微位移工作台。着重完成了该工作台的总体设计计算，并利用柔性铰链的刚度理论公式进行了校核，达成了以压电陶瓷驱动的柔性铰链微位移工作台，其结构紧凑、无间隙、无机械摩擦、无需润滑以及具有高位移分辨率，解决了三维耦合问题，实现三个方向的运动能够相互独立。

关键词：微位移；压电驱动；耦合运动：柔性铰链

目录

摘要

ABSTRACT

第一章 绪论-2

1.1国内外微位移技术的发展现状-2

1.2微位移技术的应用-3

1.3本课题的研究内容和意义-5

第二章 机械式微位移工作台的概述-6

2.1机械式微位移工作台的种类-6

2.2机械式微位移工作台的工作原理-9

第三章 机械式微位移工作台的整体结构设计-10

3.1双层铰链杆对称一体化结构的设计-10

3.2三维无耦合位移输出设计-11

3.3驱动器的设计-12

3.4微位移行程的设计-13

第四章 柔性铰链杆的设计-16

4.1柔性铰链杆的设计计算-16

4.2柔性铰链杆的刚度校核-17

结论与展望-20

参考文献-21

致谢-22