摘要：近年来，微流控芯片技术取得了迅猛的发展,在医学、生物、化学等领域取得了较为广泛的应用。而具备结构简单、方便操控、便于集成等优点的气动微阀在微流控领域应用广泛，因此，气动微阀的研究对微流控技术的发展具有重大意义。首先阐述了气动微阀的研究背景。接着介绍了气动微阀的工作原理，最后详细综述了气动微阀的研究内容。其次，系统的阐述了气动微阀的制备过程。第一步设计了Y性结构的液体通道。第二步制备光刻胶、微流控芯片以及弹性薄膜。最后完成整个薄膜式气动微阀的制备。最后对制备出的气动微阀进行测试实验。通过注射泵驱动设备对气动微阀进行了压力流量测试、响应特性实验、以及寿命实验。实验结果表明，该气动微阀具备良好的密封性。

关键词: Y型结构；弹性薄膜；响应特性；微流控芯片；气动微阀

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摘要

ABSTRACT

第一章  绪  论-1

1.1课题的背景及现实意义-1

1.2国内外发展现状-1

1.3气动微阀的工作原理。-2

1.4微流控技术的应用。-2

1.4.1即时检测（POCT）芯片-2

1.4.2微流控技术在纳米材料合成中的应用-3

1.4.3 微流控聚合酶链式反应（PCR）芯片-3

1.4.4 PCR芯片中产物的检测与分析-3

1.4.5微流控芯片在细胞学中的应用。-3

1.5 研究内容-4

1.6本章小结-4

第二章  气动微阀的制备-5

2.1气动微阀的结构设计-5

2.2 PDMS的制备-5

2.3弹性薄膜的制备-6

2.4微流控芯片的制备-7

2.5本章小结-9

第三章 薄膜式气动微阀的测试实验-11

3.1气动微阀压力-流量特性实验-11

3.1.1 实验原理-11

3.1.2 实验装置与器材-11

3.1.3 实验内容-12

3.1.4实验结果及分析-13

3.2 气动微阀的响应特性试验-14

3.2.1实验原理与器材-14

3.2.2 实验内容-14

3.2.3 实验结果分析-14

3.3 气动微阀的寿命测试-15

3.4 本章小结-16

第四章 总结展望-18

4.1总结-18

4.2 展望-19

参考文献-20

致谢-22